グローバルNo.1のFLIR System社製の赤外線カメラを使用し、超微小試料の温度測定が可能。非破壊・非接触検査が可能であり、用途としては工業関連（シリコンウェハの内部観察、基板の配線検査）があります。

  ■ 主な特長

• ◆赤外線カメラを使用
  ◆豊富な出力機能
  　・温度プロファイルＣＳＶ出力
  　・温度トレンドグラフ（時系列）
  　・温度データヒストグラム
  ◆赤外線では確認しにくい試料のNG箇所を可視化表示 (オプション)
  　・ステージが自動で移動
  　・可視波長のカメラで撮像
  　・目視ができる画像で確認可能
  

  ■ 機能

●スポット　・ライン　・エリア測定（各々最大20個）
　・測定項目としては、最高温度、最低温度、平均温度、温度分布、標準偏差など。
　・時系列変化に応じたリアルタイム解析が可能です。
●寸法測定
　・スケールバーの表示と測定試料の寸法測定が可能です。
●熱画像のリアルタイムモニタ表示
　・リアルタイムで熱画像をモニタ表示します。
●フィルタ処理
　・熱画像のノイズ除去、コントラスト調整が可能です。
●出力機能
　・測定値のCSV出力、レポート作成機能（制作中）が可能です。

  ■ 実績事例

●試液状況確認システム
試液が入っているかどうか目視では確認困難なプレートを赤外線カメラで撮影し、温度差によりセル毎に試液が入っているかどうかをチェックするシステム。
●赤外線検査ビューアー
赤外線検査ビューアーがFLIR社のA320赤外線カメラを使用 してモニターを表示する。指定するアラーム温度で、リアル タイムに全画面を監視する。